針對內(nèi)部容易出現(xiàn)反應(yīng)生成物的設(shè)備，需要采取措施來防止設(shè)備內(nèi)部反應(yīng)生成物的堆積與固化。采用此構(gòu)造能有效降低反應(yīng)生成物的堆積與固化，充分延長分子泵的壽命與維護周期。
■以往產(chǎn)品的反應(yīng)生成物對策
包括對象部位的周圍整體的加熱。
 ?熱度會分散。不能有效利用。
 ?其他部位也會受到熱度的影響。
■通過使用TG-MI系列
 使用外部加熱器實現(xiàn)升溫，同時利用在泵內(nèi)部產(chǎn)生的氣體的摩擦熱，來使接觸氣體部位高效率地升溫
 ?可以減小外部加熱器的輸出功率，得到節(jié)能的效果。
 ?可以防止主要部分受到熱度影響，防止泵受損。
 ?排氣口采用了絕緣材料。保持了*溫度，防止排氣口堆積生成物。